真空波导磁场控制型ECR溅射法的实验研究

真空波导磁场控制型ECR溅射法的实验研究

汪建华

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武汉理工大学学报 ›› 1998, Vol. 20 ›› Issue (3) : 1-3.

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真空波导磁场控制型ECR溅射法的实验研究

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